Lam : Etcher Unit-Plasma Electrode
Varian Ion-implanter-Graphite parts
ONE BODY ELECTRODE
반도체 ETCH PART 장비 부품ONE BODY ELECTRODE
INNER ELECTRODE
반도체 ETCH PART 장비 부품INNER ELECTRODE
HP, HPT CATHODE
반도체 ETCH PART 장비 부품HP, HPT CATHODE
OUTER ELECTRODE
반도체 ETCH PART 장비 부품OUTER ELECTRODE
6INCH CAPTUBE RING
반도체 ETCH PART 장비 부품6INCH CAPTUBE RING
8INCH CAPTUBE RING
반도체 ETCH PART 장비 부품8INCH CAPTUBE RING
500종 이상의 GR PART
반도체 ION IMPLANTATION 장비 부품500종 이상의 GR PART
- 고온 내열충격성(1800도까지 가능)
- 고온 내식성, 절연성
- 고순도(99.6%이상)
