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POCO ZEE

 

ZEE는 POCO사가 최근 개발하여 상용화가 임박한 고강도 내마모성 재질입니다. 차세대 Ion Implanter용 그라파이트 재질인 ZEE는 고순도, 등방성(Isotropic), 1micron 입자 크기의 특성을 지니고 있습니다.

  PCOC가 자랑하는 본 재질은 고강도성을 바탕으로 하여 고에너지 조건에서도 최고의 내 마모성과 최소의 입자방출(Particle generation)을 기대하실 수 있습니다.

재질특성(Typical Material Properties)

Apparent Density(g/cc)

1,089

Flexural Strength(psi)

20,842

Compressive Strength(psi)

37,258

Electrical Resistivity(m-ohm-in)

1,211

Shore Hardness

113

CTE(m-in/in/C)

8.6

Air Flow @ 60psi cc/min

12

Purity

99.9995%

Test Area = 직경 1.25' .  Sample Thickness = 0.25'

 

 

 

 

 

 

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