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POCO ZEE

ZEE는 POCO사가 최근 개발하여 상용화가 임박한 고강도 내마모성 재질입니다. 차세대 Ion Implanter용 그라파이트 재질인 ZEE는 고순도, 등방성(Isotropic), 1micron 입자 크기의 특성을 지니고 있습니다.

PCOC가 자랑하는 본 재질은 고강도성을 바탕으로 하여 고에너지 조건에서도 최고의 내 마모성과 최소의 입자방출(Particle generation)을 기대하실 수 있습니다.

재질특성(Typical Material Properties)

Apparent Density(g/cc)	1,089
Flexural Strength(psi)	20,842
Compressive Strength(psi)	37,258
Electrical Resistivity(m-ohm-in)	1,211
Shore Hardness	113
CTE(m-in/in/C)	8.6
Air Flow @ 60psi cc/min	12
Purity	99.9995%
Test Area = 직경 1.25' . Sample Thickness = 0.25'

Tel

031) 357-5264~5

Fax

031) 357-5263