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SUPERSiC® 은 반도체 산업 분야에서 사용되는 Silicon Carbide 중 하나를 칭하는 POCO 사의 상표입니다.

POCO의 기술력은 바로 경쟁력으로 연결됩니다..

   circle03_blue.gif 폭넓은 디자인 능력
   circle03_blue.gif 정밀한 가공
   circle03_blue.gif 뛰어난 정제 공정
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CVD SiC coating

새로운 대안으로서의 POCO Silicon Carbide   

   circle03_blue.gif POCO Silicon Carbide는 Quartz와 다른 Silicon Carbide의 대체품으로 사용될 수 있습니다.
   
circle03_blue.gif 수명 면에서 Quartz보다 월등히 우수합니다.
   circle03_blue.gif 두 재질 모두 반도체 분야에서 일반적으로 사용되는 wet etching 공정에 강한 내구성을 보이지       만, 고온환경에서는 POCO Silicon Carbide가 훨씬 안정된 성능을 발휘합니다.
   circle03_blue.gif HF, HNO3, HCl등의 일반적인 세척 방식 이용이 가능합니다.

작업 개선

   circle03_blue.gif POCO Silicon Carbide는 BPSG, TEOS, POCl3, poly depo, silicon nitride, age oxidation,
      implant anneal/drive-in등과 같은 반도체 공정에 도움이 될 수 있습니다.

   circle03_blue.gif 1300°C 정도의 작업 조건에서도 안전합니다.

작업 지속성 향상

   circle03_blue.gif POCO Silicon Carbide의 (CTE Coefficient Thermal Expansion:열팽창계수)가 반도체 분야
      에서 사용되는 film의 CTE와 비슷하기 때문에 film 증착이 용이합니다.

         blue01_next.gif 적은 particle 발생

         blue01_next.gif 줄어든 Downtime

         blue01_next.gif 길어진 Running Cycle

   circle03_blue.gif Etch 공정에 강하기 때문에 치수 변화가 발생하지 않고, 세척 중에 부식이 생기지 않습니다.
      로봇 공학을 통한 clean cycle의 안정화가 가능합니다.

고순도 Silicon Carbide

   circle03_blue.gif POCO Silicon Carbide는 다른 Silicon Carbide의 대체품으로 사용이 가능합니다.
   
circle03_blue.gif POCO Silicon Carbide 재질에는 binding, filling, sintering에 필요한 물질들이 들어가지 않은
     Si와C의 화학변량론적으로 1:1 결합만으로 이루어진 특징을 지니고 있습니다.
  
circle03_blue.gif폭넓은 디자인 가능성을 통해서 낮은 열용량 확보가 가능합니다.

개선된 공정 control

신뢰도 높은 Die 생산

경비 절감

     

 

Tel

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Fax

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